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[IOP] Enhanced temperature uniformity of electrostatic chuck: ceramic surface contact ratio and backside gas pressure

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zhaoshike 发表于 7 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics

文献作者：Jeong Hwan Youn; Sang Jeen Hong

出版日期：2024-4-1

DOI号：10.35848/1347-4065/ad394e

下载链接：https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ad394e

文献链接：https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad394e

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