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[SPIE] Low variability metal pitch scaling with directed self-assembly

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Weina5688 发表于 3 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式
悬赏10积分

期刊：Novel Patterning Technologies 2022

文献作者：Gurpreet Singh

出版日期：2022-6-7

DOI号：10.1117/12.2623266

文献链接：https://doi.org/10.1117/12.2623266

当前文献来源于 SPIE。


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