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[SPIE] Characterization and reduction of copper chemical-mechanical-polishing-induced scratches

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Arya_Zhou 发表于 前天 16:40 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：SPIE Proceedings

文献作者：Tai Yong Teo; Wang Ling Goh; Lup San Leong; Victor S. K. Lim; Tak Yan Tse; Lap Chan

出版日期：2003-7-15

DOI号：10.1117/12.485223

文献链接：https://doi.org/10.1117/12.485223

当前文献来源于 SPIE。


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