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[其他期刊] Metalorganic chemical vapor deposition of β-(Al)Ga2O3 on (001) β-Ga2O3 substrates

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30606 发表于 2026-7-10 08:35:05 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A

文献作者：Md Mosarof Hossain Sarkar; Dong Su Yu; Kaitian Zhang; Sadikul Alam; Mehidi Hassan; Minhazul Islam; Jinwoo Hwang; Hongping Zhao

出版日期：2026-7-1

DOI号：10.1116/6.0005408

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 403_1_6.0005408.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0005408

当前文献来源于 American Vacuum Society。

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