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[IEEE] High Sensitivity Piezoelectric MEMS Microphones Based on AlN with Cavity-SOI

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Lee202 发表于 2026-7-12 12:34:31 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)

文献作者：Bohao Hu; Binghui Lin; Wenjuan Liu; Chengliang Sun

出版日期：2021-9-11

DOI号：10.1109/ius52206.2021.9593567

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=9593567

文献链接：https://doi.org/10.1109/ius52206.2021.9593567

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