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[其他期刊] Low temperature growth of single-phase and preferentially oriented e-Ga2O3 films on sapphire substrates via atomic layer deposition

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ZZZJune 发表于 2026-7-15 20:30:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A

文献作者：Xiangtai Liu; Jiayang Wang; Lu Jin; Jiao Fu; Qin Lu; Shaoqing Wang; Yifan Jia; Zhan Wang; Yunhe Guan; Haifeng Chen

出版日期：2025-1-1

DOI号：10.1116/6.0004048

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 402_1_6.0004048.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0004048

当前文献来源于 American Vacuum Society。


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