[IEEE] A ScAlN-Based Piezoelectric MEMS Microphone With Sector-Connected Cantilevers

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Lee101 发表于 2026-7-30 11:49:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Journal of Microelectromechanical Systems

文献作者:Bohao Hu; Wenjuan Liu; Chaoxiang Yang; Liangyu Lu; Zekai Wang; Yan Liu; Yao Cai; Jian Wang; Shishang Guo; Chengliang Sun

出版日期:2023-12-

DOI号:10.1109/jmems.2023.3317858

下载链接:https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=10274600

文献链接:https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3317858

当前文献来源于 Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)


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