Optimization of Anchor Placement in TPoS MEMS Resonators: Modeling and Experimental Validation

发表于 2026-7-31 17:38:36

期刊：Journal of Microelectromechanical Systems

文献作者：J. Bijay; K. N. Bhadri Narayanan; Abhijit Sarkar; Amitava DasGupta; Deleep R. Nair

出版日期：2022-8-

DOI号：10.1109/jmems.2022.3183998

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=9803816

文献链接：https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3183998

当前文献来源于 Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)。

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