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[其他期刊] Viability of HFO-1234ze(E) (trans-1,3,3,3-tetrafluoropropene) as a low global warming potential silicon dioxide etch gas

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dfdfdfdfdf 发表于 2026-8-2 16:25:11 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B

文献作者：Aaron J. Windsor; Jeremy C. Clark; George McMurdy; Eric A. Joseph; Robert G. Syvret; Ronald J. Olson; Judy J. Cha

出版日期：2025-3-1

DOI号：10.1116/6.0004194

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jvb/art ... 206_1_6.0004194.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0004194

当前文献来源于 American Vacuum Society。

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