收藏本站 万方检测 维普检测 中文降重 英文语法检测 Turnitin UK版 Turnitin 国际版
登录 注册

文献互助-谷粉互助｜10秒响应文献互助平台

[Elsevier/Sciencedirect] Study of chucking force distribution according to substrate pattern and deformation characteristics of electrostatic chuck for deposition

 关闭 求助已关闭
zhaoshike 发表于 2026-8-3 08:39:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
悬赏20积分

期刊：Journal of Electrostatics

文献作者：Seong Bin Kim; Ju Hye Kim; Dong Kyun Min

出版日期：2025-1-

DOI号：10.1016/j.elstat.2024.104008

下载链接：https://www.sciencedirect.com/sc ... 304388624001153/pdf

文献链接：https://doi.org/10.1016/j.elstat.2024.104008

当前文献来源于 Elsevier BV。


备注信息：

已采纳

谷粉极速应助 VIP会员
2026-8-3（该求助已完结,附件将在上传时间7天后自动删除）
Please approve

查看完整内容

回复

使用道具 捐赠获取积分 应助有误反馈

全部回复1 显示全部楼层
谷粉极速应助 发表于 2026-8-3 08:39:39 | 显示全部楼层

当前求助已完成，请重新发起求助。

已完结状态的附件将会在24小时内删除。
回复

使用道具 捐赠获取积分 应助有误反馈

zhaoshike Lv.4
VIP会员

  • 发布

  • 回复

  • 积分

    1200

同分类求助

最新回复

站点公告

今日热心研友

（热心研友QQ群）


返回列表