[Elsevier/Sciencedirect] Optimizing electrostatic chuck performance through ZrO2/Al2O3 ratio and doping components (SiO2 and Y2O3)

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zhaoshike 发表于 2026-8-3 08:40:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Ceramics International

文献作者:Jongwoo Lim; Dahoon Kim; Nam Hui Lee; Young Gon Kim; Hak Ki Yu; Jae-Young Choi; Jae-Hyuk Park

出版日期:2025-4-

DOI号:10.1016/j.ceramint.2024.12.562

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 272884224062370/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.12.562

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梦之泪伤a 发表于 2026-8-3 08:40:38 | 显示全部楼层

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