期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XV
文献作者：Nina Bernard; Christelle Boixaderas; Aurélien Sarrazin; Mélissa Brihoum; Pascal Gouraud; Cécile Jenny; Thierry Chevolleau; Francois Boulard
出版日期：2026-4-9
DOI号：10.1117/12.3090141
文献链接：https://doi.org/10.1117/12.3090141
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