期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
文献作者：J. R. Woodworth; I. C. Abraham; M. E. Riley; P. A. Miller; T. W. Hamilton; B. P. Aragon; R. J. Shul; C. G. Willison
出版日期：2002-5-1
DOI号：10.1116/1.1472421
下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 11/873_1_online.pdf
文献链接：https://doi.org/10.1116/1.1472421
当前文献来源于 American Vacuum Society。
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