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期刊：MOEMS and Miniaturized Systems XIX
文献作者：Frank Senger; Jorg Albers; Ulrich Hofmann; Gundula Piechotta; Thorsten Giese; Felix Heinrich; Thomas von Wantoch; Shanshan Gu-Stoppel
出版日期：2020-2-28
DOI号：10.1117/12.2542802
文献链接：https://doi.org/10.1117/12.2542802
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