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[其他期刊] Atomistic insights into ion irradiation effects in plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride

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kk医学牲 发表于 2026-8-4 17:51:08 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A

文献作者：Abdullah Y. Jaber; Nicolas A. Mauchamp; Erin Joy C. Tinacba; Michiro Isobe; Tomoko Ito; Kazuhiro Karahashi; Satoshi Hamaguchi

出版日期：2026-7-1

DOI号：10.1116/6.0005302

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 402_1_6.0005302.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0005302

当前文献来源于 American Vacuum Society。


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