Research on key techniques of nanometer scale macro-micro dual-drive precision positioning

发表于 2026-8-6 19:33:57

期刊：SPIE Proceedings

文献作者：Xiaohui Xie; Ruxu Du

出版日期：2007-12-3

DOI号：10.1117/12.782834

文献链接：https://doi.org/10.1117/12.782834

当前文献来源于 SPIE。

备注信息：

发表于 2026-8-6 22:47:03

[SPIE] Research on key techniques of nanometer scale macro-micro dual-drive precision positioning