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[AIP] Assessment of the crystalline orientation of nanoscale semiconductor structures via atom probe tomography

gtxy 发表于 1 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Applied Physics Letters

文献作者：J. Canas; A. Grenier; J. L. Rouviere; A. Harikumar; S. Ndiaye; A. Jannaud; E. Monroy; L. Rigutti

出版日期：2025-3-1

DOI号：10.1063/5.0242659

下载链接：https://pubs.aip.org/aip/apl/art ... 101_1_5.0242659.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1063/5.0242659

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