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[其他期刊] Power measurement analysis of moderate pressure capacitively coupled discharges

bobobibi 发表于 1 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A

文献作者：Shadhin Hussain; Abhishek Verma; Kallol Bera; Shahid Rauf; Matthew Goeckner

出版日期：2024-5-1

DOI号：10.1116/6.0003366

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 010_1_6.0003366.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0003366

当前文献来源于 American Vacuum Society。

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