Effects of Excimer Laser Irradiation on the Morphological, Structural, and Electrical Properties of Aluminum-Implanted Silicon Carbide (4H-SiC)

发表于 2026-8-18 20:43:46

期刊：ACS Applied Electronic Materials

文献作者：Marilena Vivona; Filippo Giannazzo; Gabriele Bellocchi; Salvatore Ethan Panasci; Simonpietro Agnello; Paolo Badalà; Anna Bassi; Corrado Bongiorno; Salvatore Di Franco; Simone Rascunà; Fabrizio Roccaforte

出版日期：2022-9-27

DOI号：10.1021/acsaelm.2c00748

下载链接：https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsaelm.2c00748

文献链接：https://doi.org/10.1021/acsaelm.2c00748

当前文献来源于 American Chemical Society (ACS)。

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