[Wiley] Toward Advanced High﹌ and Electrode Thin Films for DRAM Capacitors via Atomic Layer Deposition

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wxj666 发表于 2026-8-25 15:56:56 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Advanced Materials Technologies

文献作者:Se Eun Kim; Ju Young Sung; Jae Deock Jeon; Seo Young Jang; Hye Min Lee; Sang Mo Moon; Jun Goo Kang; Han Jin Lim; Hyung㏒uk Jung; Sang Woon Lee

出版日期:2023-10-

DOI号:10.1002/admt.202200878

下载链接:https://onlinelibrary.wiley.com/ ... 1002/admt.202200878

文献链接:https://doi.org/10.1002/admt.202200878

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谷粉极速应助 发表于 2026-8-25 15:56:57 | 显示全部楼层

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