Thin〧ilm Piezoelectric㎡n㏒ilicon Resonators: A Comprehensive Review

发表于 2026-9-4 14:49:40

期刊：Advanced Materials Technologies

文献作者：Tianqi Guo; Jianlin Chen; Yiyuan Wen; Chenqi Lin; Shuaishuai Zhang; JunZhe Ding; Nan Wang

出版日期：2026-7-

DOI号：10.1002/admt.202501772

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文献链接：https://doi.org/10.1002/admt.202501772

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