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[IEEE] Electrode Optimization for Ring-Shaped AIN Piezoelectric MEMS Resonators

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cydtk 发表于 2026-9-4 18:00:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

文献作者：Quan Yuan; Yuxin Ruan; Jiaming Wang

出版日期：2026-1-25

DOI号：10.1109/mems64181.2026.11419477

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=11419477

文献链接：https://doi.org/10.1109/mems64181.2026.11419477

当前文献来源于 IEEE。


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