Fabrication of carbon nanotube field-effect transistors in commercial silicon manufacturing facilities

发表于 2026-9-5 16:20:14

期刊：Nature Electronics

文献作者：Mindy D. Bishop; Gage Hills; Tathagata Srimani; Christian Lau; Denis Murphy; Samuel Fuller; Jefford Humes; Anthony Ratkovich; Mark Nelson; Max M. Shulaker

出版日期：--

DOI号：10.1038/s41928-020-0419-7

下载链接：https://www.nature.com/articles/s41928-020-0419-7.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1038/s41928-020-0419-7

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