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[其他期刊] Process optimization and characterization of dielectric, piezoelectric, and ferroelectric properties of 30% ScAlN thin films

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cydtk 发表于 2026-9-7 10:33:08 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A

文献作者：Kapil Saha; Chuan Tian; Karl Grosh; Siddhartha Ghosh; Matteo Rinaldi

出版日期：2026-9-1

DOI号：10.1116/6.0005636

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 404_1_6.0005636.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0005636

当前文献来源于 American Vacuum Society。

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