[Elsevier/Sciencedirect] Effect of film stress on different electrical properties of PECVD grown SiNx films and its bilayer structures: A study of Si surface passivation strategy

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18062463001 发表于 2026-9-11 17:09:32 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing

文献作者:Vijay D. Chavan; Honggyun Kim; Jamal Aziz; Kyeong-Keun Choi; Deok-kee Kim

出版日期:2023-7-

DOI号:10.1016/j.mssp.2023.107451

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 369800123001440/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107451

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T-Mac麦蒂 发表于 2026-9-11 17:09:33 | 显示全部楼层

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