High density metal-insulator-metal capacitor based on ZrO2∕Al2O3∕ZrO2 laminate dielectric

发表于 3 天前

期刊：Applied Physics Letters

文献作者：Yung-Hsien Wu; Chien-Kang Kao; Bo-Yu Chen; Yuan-Sheng Lin; Ming-Yen Li; Hsiao-Che Wu

出版日期：2008-7-21

DOI号：10.1063/1.2958238

下载链接：https://pubs.aip.org/aip/apl/art ... 033511_1_online.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1063/1.2958238

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