[IEEE] 300mm Wafer-scale ALD-grown MoS2 for Cu diffusion barrier

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期刊:2024 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)

文献作者:Thong Ngo; Angelica Zacatzi; Yuanqiu Tan; Daniel Lee; Anand Waknis; Nguyen Vu; Ravi Kanjolia; Mansour Moinpour; Zhihong Chen

出版日期:2024-6-3

DOI号:10.1109/iitc61274.2024.10732341

下载链接:https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=10732341

文献链接:https://doi.org/10.1109/iitc61274.2024.10732341

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