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[Nature] Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers

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linbenhui 发表于 2026-9-16 10:09:43 | 显示全部楼层 |阅读模式
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DOI号:10.1038/s41565-026-02276-0

文献链接:https://www.nature.com/articles/s41565-026-02276-0#article-info

文献作者:Niu, C., Long, L., Zheng, L. et al.

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peter_soso 注册会员
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peter_soso 发表于 2026-9-16 10:09:44 | 显示全部楼层

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