[Nature] Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers

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TKJ 发表于 2026-9-16 14:49:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Nature Nanotechnology

文献作者:Chang Niu; Linjia Long; Luqi Zheng; Shuting Du; Jian-Yu Lin; Kisoo Nam; Zehao Lin; Chang Liu; Juanjuan Lu; Haiyan Wang; Haitong Li; Peide D. Ye

出版日期:--

DOI号:10.1038/s41565-026-02276-0

下载链接:https://www.nature.com/articles/s41565-026-02276-0.pdf

文献链接:https://doi.org/10.1038/s41565-026-02276-0

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