Electrical aging of a piezoelectric MEMS fast steering mirror and its impact on reliability

发表于 2026-9-16 16:21:10

期刊：Sensors and Actuators A: Physical

文献作者：Weihong Zhu; Yongquan Su; Shiyuan Gao; Xiaodong Li; Yonggui Zhang; Lihao Wang; Yichen Liu; Yang Wang; Zhenyu Wu

出版日期：2024-10-

DOI号：10.1016/j.sna.2024.115589

下载链接：https://www.sciencedirect.com/sc ... 924424724005831/pdf

文献链接：https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115589

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