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[Elsevier/Sciencedirect] Experimental study of Talbot imaging moiré-based lithography alignment method

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君子尚拙 发表于 2026-9-18 10:49:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：Optics and Lasers in Engineering

文献作者：Jiangping Zhu; Song Hu; Pei Zhou; Junsheng Yu

出版日期：2014-7-

DOI号：10.1016/j.optlaseng.2014.01.028

下载链接：https://www.sciencedirect.com/sc ... 143816614000384/pdf

文献链接：https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2014.01.028

当前文献来源于 Elsevier BV。


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