[OSA] Large-range lithography nano-alignment without phase unwrapping by a dual-frequency moiré fringe heterodyne

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君子尚拙 发表于 2026-9-20 16:17:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Optics Letters

文献作者:Xiaolong Cheng; Zimo Yang; Yuliang Long; Qianjin Xiang; Jinhua Feng; Yong Yang; Yan Tang

出版日期:2023-11-1

DOI号:10.1364/ol.503345

下载链接:https://opg.optica.org/viewmedia.cfm?URI=ol-48-21-5499&seq=0

文献链接:https://doi.org/10.1364/ol.503345

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