期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XIV
文献作者：Pradeep K. Subrahmanyan; Ram Karur; Wonjae Lee; Olga Kucher; Changwoo Sun; Adaeze Osonkie; Heedon Hwang; Woosung Lee; Sang H. Rha; Jeseon Yeon; Hanmei Choi; Iksoo Kim
出版日期：2025-4-22
DOI号：10.1117/12.3051168
文献链接：https://doi.org/10.1117/12.3051168
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