[Elsevier/Sciencedirect] Depth-dependent characterization and modeling of POCl3-doped polysilicon deposited by low-pressure chemical vapor deposition

 关闭 求助已关闭
cydtk 发表于 2026-9-21 20:25:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
悬赏20积分

期刊:Thin Solid Films

文献作者:Fatma Betül Akgül Taner; Alican Vatansever; Esat Ozcan; Bahadir Tunaboylu

出版日期:2026-9-

DOI号:10.1016/j.tsf.2026.141015

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 040609026001628/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.tsf.2026.141015

当前文献来源于 Elsevier BV。


备注信息:

已采纳

附件内容

查看完整内容

全部回复1 显示全部楼层
T-Mac麦蒂 发表于 2026-9-21 20:25:30 | 显示全部楼层

当前求助已完成,请重新发起求助。

已完结状态的附件将会在24小时内删除。
VIP会员
  • 发布

  • 回复

  • 积分

    1230

返回列表