[Elsevier/Sciencedirect] Two-regime property dependence on plasma power of plasma-enhanced atomic layer-deposited In2O3 thin films and underlying mechanism

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bobobibi 发表于 2026-9-24 16:53:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Vacuum

文献作者:Zhi-Xuan Zhang; Ming-Jie Zhao; Wan-Yu Wu; Dong-Sing Wuu; Peng Gao; Shui-Yang Lien; Wen-Zhang Zhu

出版日期:2023-10-

DOI号:10.1016/j.vacuum.2023.112414

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 042207X23006115/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112414

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T-Mac麦蒂 发表于 2026-9-24 16:53:26 | 显示全部楼层

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