[Elsevier/Sciencedirect] In2O3 film prepared by a PEALD process with balanced oxygen radical supply and ion bombardment damage

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bobobibi 发表于 2026-9-29 18:23:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Vacuum

文献作者:Ming-Jie Zhao; Zhi-Xuan Zhang; Chia-Hsun Hsu; Wan-Yu Wu; Xiao-Ying Zhang; Shui-Yang Lien; Wen-Zhang Zhu

出版日期:2021-10-

DOI号:10.1016/j.vacuum.2021.110411

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 042207X21003638/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110411

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谷粉极速应助 发表于 2026-9-29 18:23:26 | 显示全部楼层

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