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[IEEE] Megasonic Power Supply Design for Precision Cleaning of Nanoimprint Stencils

741471340 发表于 半小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：2024 IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)

文献作者：Zecheng Yao; Yanxing Liu; Xiangyu Zhu; Liangxuan Yang; Zhili Long

出版日期：2024-7-29

DOI号：10.1109/3m-nano61605.2024.10769718

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=10769718

文献链接：https://doi.org/10.1109/3m-nano61605.2024.10769718

当前文献来源于 IEEE。


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