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[其他期刊] Precise identification of subnanometer chemical defects within a fin field-effect transistor

xpp 发表于 1 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B

文献作者：Yu-Ting Peng; Yu-Lun Liu; Mu-Tung Chang; Chien-Nan Hsiao; Hung-I Su; Shen-Chuan Lo; Chien-Chun Chen

出版日期：2026-7-1

DOI号：10.1116/6.0005444

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jvb/art ... 001_1_6.0005444.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0005444

当前文献来源于 American Vacuum Society。

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