[Springer] Enhanced anchor quality factor of an aluminium nitride-on-silicon MEMS resonator using support tethers based on compound leaf-shaped one dimensional phononic crystal

cydtk 发表于 4 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Microsystem Technologies

文献作者:Thi Dep Ha

出版日期:2025-1-

DOI号:10.1007/s00542-024-05697-w

下载链接:https://link.springer.com/conten ... 542-024-05697-w.pdf

文献链接:https://doi.org/10.1007/s00542-024-05697-w

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