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[其他期刊] Uniform lanthanum oxide atomic layer deposition using ozone

goscholar 发表于 1 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式

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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A

文献作者：Denis Olkhovskii; Ilya Ezhov; Pavel Vishniakov; Denis Nazarov; Maxim Maximov

出版日期：2026-1-1

DOI号：10.1116/6.0005037

下载链接：https://pubs.aip.org/avs/jva/art ... 401_1_6.0005037.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1116/6.0005037

当前文献来源于 American Vacuum Society。

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