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[AIP] Bubble generation–release competition and low-defect process region in photoresist spray coating

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sunyadong 发表于 2026-11-3 21:42:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：Physics of Fluids

文献作者：Shenghan Lu; Yadong Sun; Ruoyu Wang; Lei Zhang

出版日期：2026-11-1

DOI号：10.1063/5.0353497

下载链接：https://pubs.aip.org/aip/pof/art ... 406_1_5.0353497.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1063/5.0353497

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