[AIP] In situanalysis of SiO2 films etched under cryogenic conditions using H2/F2/Ar gas mixture plasma

 关闭 求助已关闭
astro1024 发表于 5 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式
悬赏10积分

期刊:Applied Physics Letters

文献作者:Yuma Kato; Junji Kataoka; Ryo Saito; Daiki Iino; Kazuaki Kurihara; Tetsuya Sato; Hiroyuki Fukumizu

出版日期:2026-2-9

DOI号:10.1063/5.0303879

下载链接:https://pubs.aip.org/aip/apl/art ... 602_1_5.0303879.pdf

文献链接:https://doi.org/10.1063/5.0303879

当前文献来源于 AIP Publishing。


备注信息:
全部回复0 显示全部楼层

发表回复

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

注册会员
  • 发布

  • 回复

  • 积分

    150

返回列表