Stability of capacitive MEMS oscillators

发表于昨天 16:02

期刊：Microsystem Technologies

文献作者：Haopeng Xu; Hui Chen; Yuxin Zhang; Hangbing Xiao; Yuxuan Wu; Quan Yuan

出版日期：2025-9-

DOI号：10.1007/s00542-025-05908-y

下载链接：https://link.springer.com/conten ... 542-025-05908-y.pdf

文献链接：https://doi.org/10.1007/s00542-025-05908-y

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