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[IEEE] Experimental Study of Electrical Breakdown in MEMS/NEMS Devices With Deep Submicron Gaps

cydtk 发表于 昨天 16:13 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems

文献作者：Justin Matthews; Haoran Wen; Farrokh Ayazi

出版日期：2023-10-

DOI号：10.1109/jmems.2023.3299559

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=10213355

文献链接：https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3299559

当前文献来源于 Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)。


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