Reaching High Velocities in Micromachined Resonant Structures via Electrostatic Metamaterial Actuation

发表于昨天 16:15

期刊：2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

文献作者：Milad Daneshnazar; Sepehr Sheikhlari; Armin Moayedizadeh; Siavash Pourkamali

出版日期：2026-1-25

DOI号：10.1109/mems64181.2026.11419287

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=11419287

文献链接：https://doi.org/10.1109/mems64181.2026.11419287

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