一种反射型频率选择极化转换超表面的制作方法-专利求助

发表于 2023-12-9 16:00:31

一种反射型频率选择极化转换超表面的制作方法包括以下步骤：

1. 制备基板：选择合适的基板材料，如玻璃纤维增强塑料（FRP）或聚酰亚胺（PI）等，然后将其切割成所需的尺寸。

2. 制备金属层：在基板表面涂覆一层金属薄膜，如铝或铜等，通过真空蒸镀或溅射等方法将金属沉积在基板表面。

3. 制备介质层：在金属层上涂覆一层介质材料，如聚四氟乙烯（PTFE）或聚苯乙烯（PS）等，形成介质层。

4. 制备周期性结构：在介质层上制作一种周期性的结构，如金属贴片、微型天线或微型孔洞等，通过光刻、电子束曝光或激光刻蚀等微纳加工技术进行制作。

5. 完成超表面：将制备好的基板进行清洗和表面处理，然后将其与适当的支撑结构组装在一起，形成完整的反射型频率选择极化转换超表面。

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