[IOP] Enhanced temperature uniformity of electrostatic chuck: ceramic surface contact ratio and backside gas pressure

 关闭 求助已关闭
zhaoshike 发表于 2026-8-3 08:41:25 | 显示全部楼层 |阅读模式
悬赏10积分

期刊:Japanese Journal of Applied Physics

文献作者:Jeong Hwan Youn; Sang Jeen Hong

出版日期:2024-4-1

DOI号:10.35848/1347-4065/ad394e

下载链接:https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ad394e

文献链接:https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad394e

当前文献来源于 IOP Publishing


备注信息:
全部回复0 显示全部楼层

发表回复

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

VIP会员
  • 发布

  • 回复

  • 积分

    1200

返回列表