[IOP] Improved conformal behavior in beam-structure electrostatic chucks by spring-based rotatable pad-shaped electrode tips

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zhaoshike 发表于 2026-8-3 08:45:12 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Engineering Research Express

文献作者:Xu Sanchuan; Taoka Yuki; Saito Shigeki

出版日期:2026-7-1

DOI号:10.1088/2631-8695/ae7e3f

下载链接:https://iopscience.iop.org/article/10.1088/2631-8695/ae7e3f

文献链接:https://doi.org/10.1088/2631-8695/ae7e3f

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