[Elsevier/Sciencedirect] Exploring crystal recovery and dopant activation in coated laser annealing on ion implanted 4H–SiC epitaxial layers

Yizhang001 发表于 1 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing

文献作者:C. Calabretta; A. Pecora; M. Agati; A. Muoio; V. Scuderi; S. Privitera; R. Reitano; S. Boninelli; F. La Via

出版日期:2024-5-

DOI号:10.1016/j.mssp.2024.108175

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 369800124000702/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108175

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