[Elsevier/Sciencedirect] Exploring crystal recovery and dopant activation in coated laser annealing on ion implanted 4H–SiC epitaxial layers

 关闭 求助已关闭
Yizhang001 发表于 2026-8-18 20:42:49 | 显示全部楼层 |阅读模式
悬赏20积分

期刊:Materials Science in Semiconductor Processing

文献作者:C. Calabretta; A. Pecora; M. Agati; A. Muoio; V. Scuderi; S. Privitera; R. Reitano; S. Boninelli; F. La Via

出版日期:2024-5-

DOI号:10.1016/j.mssp.2024.108175

下载链接:https://www.sciencedirect.com/sc ... 369800124000702/pdf

文献链接:https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108175

当前文献来源于 Elsevier BV。


备注信息:

已采纳

附件内容

查看完整内容

全部回复1 显示全部楼层
梦之泪伤a 发表于 2026-8-18 20:42:50 | 显示全部楼层

当前求助已完成,请重新发起求助。

已完结状态的附件将会在24小时内删除。
注册会员
  • 发布

  • 回复

  • 积分

    120

返回列表