Optimization of FINFET Single Diffusion Break Structure Profile

发表于 2026-8-16 23:25:31

期刊：2024 35th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)

文献作者：ChunPui Kwan; HongLiang Shen; Sen Ashokmani; LeZhong Gao; Cassidy Dineen; Vishvajeet Vijay Mane; Thilina Dayanga; Cameron Sloan

出版日期：2024-5-13

DOI号：10.1109/asmc61125.2024.10545474

下载链接：https://ieeexplore.ieee.org/stampPDF/getPDF.jsp?arnumber=10545474

文献链接：https://doi.org/10.1109/asmc61125.2024.10545474

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